Bronkhorst
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(GAS) EL FLOW Select Series |
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Accuracy flow sensor (based on actual calibration) |
±1% FS |
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Repeatability < |
< 0,2% Rd |
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Turndown |
1 : 50 (2~100%) |
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Operating pressure |
0~10 bar(g) |
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Settling time (in control) |
approx. 1 second |
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Control stability |
< ±0,1% FS (typical for 1 ln/min N2) |
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Operating temperature |
F-201CB/AB 0~50°C F-202BB 10~50°C |
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Temperature sensitivity |
zero < 0,1% FS/°C span < 0,1% Rd/°C |
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Control valve |
normally closed solenoid valve, F-201CB/F-201AB: Kv-max = 6,6 x 10-2 F-202BB: Kv-max = 3,5 x 10-1 |
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Leak integrity, outboard |
tested < 2 x 10-9 mbar l/s He |
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Warm-up time |
30 min. for optimum accuracy |
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어플리케이션 |
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• 분석 및 환경 설비
• 식품,
화학 ,발전
시설, 석유화학 산업에서의 가스 유량 모니터링 및 유량 제어
• 가스 공급시설의 가스 소비량 측정 및 누적 사용
• 가스 누출 탐지
• 반도체 제조
• 표면 처리 설비
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(GAS) EL FLOW Select Series
l 높은 정확도 ( 0,5% RD + 0,1% FS)
l 빠른 응답성 (down to 500 msec), 우수한 반복 정밀도
l 선택가능한 Multi-Gas / Multi-Range functionality: 자유롭게 프로그램 가능한 가스와 유량
l 압력범위 64 / 100 bar (Multi-Gas / Multi-Range functionality up to 10 bar)
l High pressure versions 제공
l 아날로그 입, 출력 및, RS232-통신기능 제공; 필드버스 인터페이스 (옵션)제공
l 전기 및 화학적 표면처리
l 컴팩트, 모듈형 구조
l 메탈실 버젼 및 다운 포트 버전
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Mass Flow Meter (MFM); PN100 (Pressure rating 100 bar) |
Range |
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Series F-110C |
min. 0,014 ~ 0,7 mln/min |
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Series F-111B |
min. 0,16 ~ 8 mln/min |
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Series F-111AC |
min. 0,4 ~ 20 ln/min |
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Series F-112AC |
min. 0,8 ~ 40 ln/min |
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Series F-113AC |
min. 4 ~ 200 ln/min |
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Mass Flow Controller (MFC) PN64 / PN100 |
Range |
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Series F-110C 1) |
min. 0,014 ~ 0,7 mln/min |
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Series F-111B 1) |
min. 0,16 ~ 8 mln/min |
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Series F-111AC 1) |
min. 0,4 ~ 20 ln/min |
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Series F-112AC 2) |
min. 0,8 ~ 40 ln/min |
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Series F-113AC 2) |
min. 4 ~ 200 ln/min |
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1) 작은
유량에는 소형 직결형 밸브를 사용합니다. |
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