열식 질량 유량계

– 배관 바이패스 구성없이 간편하게
  센서 설치
– 다양한 가스 측정 및 변곡점 관리
– 순수 가스 접촉 부분의 적합한 재질 선정

BULK GAS

UTILITY GAS

MFC / MFM 유량계

– 빠른 반응속도로 가스제어
– 작은배관, 미세 유량 측정에 적합

Scrubber 장비

PURIFIER

초음파 유량계

– 배관 절단없이 유량 측정
– 오염 없이 유량계 설치
– 높은 정확성, 내구성으로 신뢰성 있는     유량 측정

초순수라인

암모니아 냉매가스 측정