CO2 VMB SUB

CO2 Valve Manifold Box

제품사양

CO2 SUB VMB

Purifier을 거쳐 정제된 순도 높은 고압 PCO2 Gas를 VMB를 통해 다수의 반도체 공정 장비로 공급하는 장치이다. VMB 내에서 압력, 온도 확인이 가능하며, 장비에 공급을 중지할 경우 정제된 고압 PCO2 Gas가 정제되어 순도가 낮아지기 때문에 Vent Line을 구성하여 순도를 유지한다.

VMB란?

VMB(Valve Manifold Box)란 Gas 및 Chemical 분배 장치로 반도체 제조 공정에 필요한 특수가스를 여러 반도체 생산 장비에 분배하여 공급하는 장비다. 또한 특수가스(H2, CO2, Ar, N2)는 폭발성, 인화성, 부식성, 질식성, 독성 등의 특성으로 누출 시 심각한 위험에 노출될 수 있기 때문에 가스가 누출되어 검출되는 즉시 각 장비로 분배 중인 가스를 차단하는 System이다.