VMB
– H2 VMB
– CO2 VMB

교정
– 교정 설비

VMB란?

VMB(Valve Manifold Box)란 Gas 및 Chemical 분배 장치로 반도체 제조 공정에 필요한 특수가스를 여러 반도체 생산 장비에 분배하여 공급하는 장비다. 또한 특수가스(H2, CO2, Ar, N2)는 폭발성, 인화성, 부식성, 질식성, 독성 등의 특성으로 누출 시 심각한 위험에 노출될 수 있기 때문에 가스가 누출되어 검출되는 즉시 각 장비로 분배 중인 가스를 차단하는 System이다.

VMB

반도체 제조공정에 필요한 위험성이 높은 H2 Gas를 VMB를 통해 다수의 반도체 공정 장비로 공급하는 장치이다. 또한, 폭발성, 인화성 등 위험성이 높은 Gas인 만큼 Interlok System을 통해 VMB 내부에서 H2 누출을 탐지하거나, 공급 중인 배관 내 압력이나 유량이 임의의 값까지 변화가 발생하는 경우 밸브를 자동으로 차단해 공급을 중단시킬 수 있는 안정장치를 갖추고 있다.